تشخیص ترکیب شیمیایی سطح و لایه های نازک
آنالیز غیرمخرب برای نمونه های حساس به پرتو الکترونی و قابل استفاده برای انواع نمونه های جامد (عایق، رسانا و نیم رسانا)
بررسی آلودگی سطحی
تشخیص حالت های اکسیداسیون اتم های فلزی در سطح
شناسایی کلیه عناصر به جزء هیدروژن و هلیوم
شناسایی نوع کربن سطح به عنوان گرافیت یا کاربید